edge placement error analysis

 レイアウト・パターンのポリゴン(多角形,polygon)図形の辺(エッジ)と,レイアウト・パターンに対するコンター(contour)パターンのエッジを比較し,その差分量の程度によってエラー判定する露光(リソグラフィー,lithography)解析手法。

図:EPE解析
図:EPE解析
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