contour

 ウエーハ上の光強度の等高線のこと。

 まずレイアウト・パターンに対して光強度シミュレーション(lithography simulation)を実施し,その結果として領域内の光強度分布情報を得る。次にこの分布情報に対して,ウエーハ上で解像する/しないの境界に相当する光強度の閾(しきい)値の部分を探してそれを線を結んでいく。これがコンターとなる。

〔類似語〕光強度等高線