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weighted critical area

クリティカル・エリア(critical area)にパーティクル(particle)の欠陥密度を掛けたもの。

WCAと略される。WCAは以下の式で表される。

また、チップ内の総欠陥密度をD0とすると、平均欠陥密度λは以下の式で表せる。

[類似語] 実効Critical Area,Kill Ratio