particle

　微細な粒子状の異物などを指す。

　一般には，気体中又は液体中に浮遊したとき，沈降しにくい10μm程度以下の粒形の粒子。IC製造の際，ウエーハ表面に付着すると欠陥（defect）の原因となる。

　このパーティクルによって生じた欠陥によるチップの不良を「パーティクル起因の不良」と呼ぶ。さらにこうした不良につながる致命的な欠陥のことを「Killer Defect」と呼ぶ。

［類似語］ ゴミ