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DFM/SSTA用語辞典

DFM/SSTA用語辞典
 

このDFM/SSTA用語辞典は,最新の技術分野であるDFM(design for manufacturability:製造性考慮設計)とSSTA(statistical static timing analysis:統計的静的遅延解析)に関する技術用語を統一し,技術の標準化を推進するために半導体理工学研究センター (STARC)が提供するものである。

著:半導体理工学研究センター 編:Tech-On!,日経マイクロデバイス 2007年4月公開

パーティクル関連

リソグラフィー関連

ダミー・メタル関連

DFM DB/設計インテント関連

統計用語

確率変数の演算

ばらつき関連

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