epitaxial crystal growth

　結晶基板上に結晶軸のそろった結晶層を成長させる技術。不純物や欠陥のない結晶層を作る。基板上でガスを反応させて結晶層を積み上げるVPE（気相成長）法と溶液を接触させて結晶相を成長させるLPE（液晶成長）法がある。