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NEアカデミー

IGZO vs. LTPS

ウエアラブル時代のTFT技術の本命を探る

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お申し込み受付は終了しました

※当日受付を承ります。直接会場にお越しください。

ディスプレーやタッチパネルなどのセンサー、これらの部品を搭載した機器を持ち歩くだけでなく、身にまとう時代がすぐそこまで来ています。いわゆるウエアラブル時代の到来です。

モバイルからウエアラブルに変わっても、ディスプレーやタッチパネルなどの必要性は変わりません。視覚によって情報を得たい、触ることで直感的に操作したいというニーズは、ウエアラブル時代になっても変わらないからです。

しかし、ディスプレーやタッチパネルを駆動するためのTFTバックプレーン技術は、大きく変わります。ウエアラブル時代の到来によって、機器や部品への新たな要求が出てくるからです。スマートフォンなどのモバイル機器よりも、もっと軽くしたい、もっと薄くしたい、もっと装着しやすくしたい、もっと電池がもつようにしたい、といった要求です。

こうした要求に応えようと、さまざまな技術が提案されています。例えば、ディスプレーでは、薄型・軽量化や身体への装着性を高めるために、基板材料に超薄型の樹脂フィルムや曲がるガラスを導入する提案が盛んです。表示素子でも、かさばるバックライトが必要な液晶に代えて、フィルム状の薄い有機ELを使おうとする提案が活発です。

このような技術提案を実用化するためには、TFTバックプレーンの技術革新が必須です。鍵を握るのが、TFTの材料、そしてバックプレーンの製造プロセス技術です。キャリア移動度などの特性が高い半導体材料を、基板材料を問わずに低温で高速に成膜・加工できる製造プロセス技術が待望されています。次世代TFTとして名乗りを上げているIGZOなどの酸化物半導体や低温多結晶Si (LTPS)も、ウエアラブル時代の要求に照らし合わせてみると、まだ発展途上です。

NEアカデミーでは、IGZOとLTPSの基礎技術から最新動向までを徹底解説しながら、ウエアラブル時代に向けたTFTバックプレーン技術の今後の進化を展望します。

概要

日時:2014年10月16日(木)10:00~17:00(開場09:30)予定
会場:化学会館 7F(東京・御茶ノ水)
主催:日経エレクトロニクス

受講料(税込み)

  • 一般価格54,000円
  • 日経エレクトロニクス読者価格43,200円
  • 一般価格には「日経エレクトロニクスDigital版セット購読(最新号1冊+1年26冊)」が含まれます。 ご送本開始は開催後になります。
  • 日経エレクトロニクス(雑誌、Digital版、Digital版セット)定期購読者は、NE読者価格でお申し込みいただけます。
  • 日経エレクトロニクスPremium定期購読者は、Premium読者価格(一般価格の50%割引)で受講いただけます。
  • ※受講料には、昼食は含まれておりません。
  • ※一般価格に含む「日経エレクトロニクスDigital版セット購読」を登録させていただく方には、NEニュースを配信設定いたします。
  • ※満席になり次第、申込受付を締め切らせていただきますので、お早めにお申し込みください。

講師紹介

浦岡 行治 氏 (うらおか ゆきはる)

奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 教授

1985年、豊橋技術科学大学 修士課程終了、松下電器産業(現パナソニック) 半導体研究センター入社。1994年、同社 液晶開発センター。1999年、奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 准教授。2009年から現在に至る。

プログラム詳細

10:00 - 17:00

1. 透明酸化物薄膜の基礎物性

1.1 酸化物材料の歴史
1.2 酸化物材料の基礎物性
1.3 酸化物材料の電気伝導機構

2. 薄膜トランジスタの動作原理

2.1 デバイス構造
2.2 酸化物TFTの電気性能評価技術

3. 薄膜トランジスタの製造プロセス

3.1 薄膜形成技術
3.2 製造プロセス

4. 高性能化技術

4.1 界面制御手法
4.2 レーザ照射法

5. 信頼性評価技術

5.1 劣化メカニズム (電気的劣化、発熱劣化、光劣化)
5.2 評価手法
5.3 高信頼性化技術

6. 酸化物半導体の将来展望

6.1 酸化物TFTの今後
6.2 新応用技術

  • ※途中、昼休憩と午後の小休憩が入ります。
  • ※講演時刻等、随時更新いたします。また、プログラムは変更になる場合があります。あらかじめご了承願います。

お申し込み受付は終了しました

※当日受付を承ります。直接会場にお越しください。

■受講料のお支払い:
お支払い方法が「請求書」の方には、後日、受講券・請求書をご郵送いたします。
ご入金は銀行振込でお願いいたします。なお、振込手数料はお客様のご負担となりますので、あらかじめご了承ください。
「クレジットカード支払」の方には、受講券のみをお送りいたします。
■お申し込み後のキャンセルおよび欠席:
お申し込み後のキャンセル、ご送金後の返金はお受けいたしかねます。代理の方が出席くださいますようお願いいたします。
■最少開催人員:
15名。参加申込人数が最少開催人員に達しない場合は、開催を中止させていただくことがあります。

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