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カーボン材料を使いこなす,次世代デバイス技術の基礎と応用

ナノチューブ,グラフェン,フラーレンのずば抜けた物性を生かすコツ

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新材料デバイス技術 11/6開催 1日コース          
カーボン材料を使いこなす,次世代デバイス技術の基礎と応用
ナノチューブ,グラフェン,フラーレンのずば抜けた物性を生かすコツ

事前申込は終了しました

ここ数年,デバイス関連の国際学会では,かつて見られなかった光景を目にするようになりました。カーボン・ナノチューブやグラフェン,フラーレンといったカーボン材料をテーマにしたセッションに,会場からあふれんばかりの技術者が集まる様子です。これらの材料に熱い注目が集まっているのは,キャリヤ移動度,最大電流密度,弾性定数といったさまざまな物性の点で,デバイス材料としてずば抜けたポテンシャルを備えているためです。本セミナーでは,これら注目のカーボン材料のLSIやMEMS,機能材料,太陽電池などへの応用について,第一線の研究者が基礎から最前線までを解説します。次世代デバイス開発のカギを握るカーボン材料の“使いこなし術”を一日で身に付けられるプログラムをご用意しました。


概要

受講料(税込み)

  • 読者価格:35,000円
  • 一般価格:45,000円
  • ◇日経エレクトロニクス,日経エレクトロニクスPremium,NIKKEI MICRODEVICES定期購読者の皆様は,「読者価格」でお申し込みいただけます。
    日経エレクトロニクスPremium読者の方は,
    ・読者価格からの割引優待(年1回限定)で受講できます。専用ハガキでお申し込みください。
    ・「割引優待」を利用済みの場合は,上記の読者価格での受講となります。

    ※ 受講料には,昼食は含まれておりません。
    ※ 満席になり次第,申込受付を締め切らせていただきますので,お早めにお申し込みください。

プログラム詳細

10:30~12:00

ナノカーボン材料のLSIデバイス応用

慶応義塾大学
理工学部 電子工学科 教授
粟野 祐二 氏

シリコンLSIは,これまで微細化による高性能化・高集積化が進められてきましたが,デバイスの微細化は2020年頃には限界に達すると予想されています。今後ますますニーズが高まる半導体エレクトロニクス分野では,低電力・高性能デバイス実現のため,様々なブレークスルー技術の研究が進められています。ここでは,ナノテクノロジの代表的なナノマテリアルである,カーボンナノチューブやグラフェンといったナノカーボン材料について,その合成技術の進展やLSI配線,トランジスタ,放熱実装などへ向けての応用技術に関する最新の研究をご紹介します。また,国際半導体技術ロードマップ(ITRS)の探究的材料(Emerging Research Material)チームの日本代表として,LSI技術分野で期待されているナノマテリアル研究の様々な取り組みについても簡単にご紹介します。

1.カーボンナノチューブのCVD合成技術とLSI配線応用研究
2.カーボンナノチューブの放熱実装応用研究
3.カーボンナノチューブおよびグラフェンのトランジスタ応用研究
4.ITRSロードマップに見る新探究材料(Emerging Research Materials)研究の最近の動向


12:00~13:00

昼 休 憩

13:00~14:00

カーボン材料のMEMS・機能材料への応用

産業技術総合研究所
ナノチューブ応用研究センター スーパーグロースCNTチーム チーム長
畠 賢治 氏 

単層カーボンナノチューブの優れた可能性を最大限に活用しMEMSプロセスに応用するためには,優れた導電性,柔軟性,熱伝導性といった性質を損なうことなく,手にとって触れられる大きさのマクロな高密度材料に成型加工する技術が不可欠です。この講演で私たちが取り組んでいる集積3次元デバイス技術について解説いたします。

カーボンナノチューブ・ウエハーの作製
スーパーグロース法をもとに合成されたフィルムにカーボンナノチューブ高密度化処理を施して,高密度のカーボンナノチューブが平面的一方向に配向した板状の“CNTウエハー“を作製しました。CNTウエハーはリソグラフィーに耐えうる強度を有することが出来,シリコン・ウエハーの加工と同様に,CNTウエハーを任意の形状に加工することが可能となりました。

3次元構造の作成から実際に動作するカーボンナノチューブへ
CNTウエハーを用いた形状加工は,平面構造にとどまらず,さまざまな微細構造体を作製することも可能としました。さらに,CNTウエハー自体が3次元的に形状を保持することが出来,それをもとに,集積されたカーボンナノチューブの3次元カンチレバーや3次元配線を作製しました。これらカーボンナノチューブ構造体の導電性を利用して,電気駆動が可能となりました。


14:00~14:20

休 憩

14:20~15:20

カーボン材料の太陽電池応用

豊田工業大学
大学院工学研究科 研究准教授
小島 信晃 氏

地球温暖化防止対策の切り札として,太陽光発電が大きく注目されています。現在,太陽電池材料として主に結晶シリコンが用いられていますが,さらなる太陽電池の普及を考えると,太陽電池の低コスト化,高効率化,用途拡大に向け,新素材の薄膜太陽電池の開発が重要です。太陽電池には,無機材料を用いたものと,有機材料を用いたものがあり,それぞれで動作原理・構造に大きな違いがあります。カーボン材料は,無機・有機のどちらからもアプローチが可能で,大幅な低コスト化が期待できます。本講演では,太陽電池の基本原理を解説した後,カーボン材料を用いた太陽電池の研究について,無機・有機の両アプローチから,最新の研究事例を示しながら解説します。

1. 太陽電池の基本原理と,各種太陽電池材料の特徴

2. カーボン材料を用いた無機太陽電池の研究開発
カーボン材料は,結合の様式により多様な物性を示します。半導体材料であるフラーレンやアモルファスカーボンは,電気的・光学的特性を広範囲に制御可能であると考えられることから,カーボン材料のみを用いて,低コスト,高効率,地球環境への負荷の少ない薄膜太陽電池の実現が期待できます。

3. 有機薄膜太陽電池の研究開発
近年,太陽電池の大幅な低コストを狙って,有機薄膜太陽電池の研究開発が活発に進められています。ここでは,フラーレンが優れたアクセプタ材料として機能することが見出され,ブレイクスルーの一つとなりました。有機薄膜太陽電池の研究開発動向を解説します。


15:20~15:30

休 憩

15:30~16:30

公開質問会

事前に受け付けた質問と会場からの質問にお答えします。本セミナーでは,事前に質問を受け付けています。今回のテーマに関係する現場の問題や日ごろ感じている疑問などに,講師が回答します。受講を申し込まれた方に,事前質問を記入するWebサイトのURLをお知らせします(すべての質問にお答えできない場合があります)。


事前申込は終了しました

講師紹介

粟野 祐二慶応義塾大学 理工学部 電子工学科 教授

1985年 富士通研究所 入社
1991~1992年 米国マサチューセッツ工科大学(MIT) 客員研究員
2009年4月から慶應義塾大学理工学部 教授

この間,半導体中の高速電子輸送の研究,化合物半導体高速・高周波トランジスタHEMTの研究,量子ドット,単電子デバイスなど量子デバイスの研究,カーボンナノチューブなどナノエレクトロニクスの研究に従事。
現在,NEDOのMIRAIプロジェクト カーボン配線テーマリーダー,IEEE Electron Device Society ナノテクノロジーコミッティ,ITRS(国際半導体技術ロードマップ)新探究材料WG国際委員ならびに国内委員会リーダー,ナノエレ国際標準化委員会(IEC/TC113)の国内委員ならびにロードマップ国内タスクグループリーダー,このほか,多数の国内,国際学会委員を歴任。工学博士。

畠 賢治産業技術総合研究所 ナノチューブ応用研究センター スーパーグロースCNTチーム チーム長

1991年3月 東京大学 工学部物理工学科卒業(工学士)
1993年3月 東京大学工学系大学院物理工学科修士課程(修了)(工学修士)
1996年3月 東京大学工学系大学院物理工学科博士課程(修了)(工学博士)
1996年4月 筑波大学先端学際領域研究センター物質工学系 文部教官・助手
1997年4月 科学技術振興事業団 (筑波大学物理工学系重川秀実研所属) 研究員
2000年4月 ハーバード大学化学生物学科Charles Lieber研究室ポストドクター
2003年4月 産業技術総合研究所ナノカーボン研究センター ポストドクター
2003年7月 産業技術総合研究所ナノカーボン研究センター 主任研究員
2005年4月 産業技術総合研究所ナノカーボン研究センター ナノカーボンチーム長
2008年4月 産業技術総合研究所ナノチューブ応用研究センター スーパーグロースCNTチーム長(現在に至る)

小島 信晃豊田工業大学 大学院工学研究科 研究准教授

1991年 東京農工大学 工学部 卒業(電子工学科)
1996年 東京工業大学大学院 理工学研究科 博士後期課程 修了(電子物理工学専攻) 博士(工学)取得
1996年 豊田工業大学 大学院工学研究科 助手
2007年~ 同大学 助教(2007~2009年 研究准教授(学内研究プロジェクト制度による時限付称号)

研究分野:半導体材料工学
専門:太陽電池新材料(カーボン系材料,有機材料,III-V-N系材料)

※講演時刻等,随時更新いたします。
※プログラムは変更になる場合があります。あらかじめご了承願います。

■受講料のお支払:
後日,受講券・ご請求書を郵送いたします。ご入金は銀行振込でお願いいたします。なお,振込手数料はお客様のご負担になりますので,あらかじめご了承ください。

■お申し込み後のキャンセルおよび欠席:
お申し込み後のキャンセル,ご送金後の返金はお受けいたしかねます。代理の方が出席くださいますようお願いいたします。

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