東京エレクトロン SPEマーケティング・プロセス開発本部 SPEマーケティング部 部長代理の早川崇氏は、2015年1月30日に東京都内で開催されたセミナー(SPIフォーラム「3次元プロセスの壁とソリューション」、主催:セミコンダクタポータル)に登壇。「3次元デバイスが求める装置・プロセス技術」と題し、立体トランジスタ(FinFET)や3次元NANDフラッシュメモリーといった3次元構造の半導体向けの製造技術について講演した。
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