昭和電工は、パワー半導体向けの6インチ(150mm)SiCエピタキシャルウエハー(エピウエハー)の生産能力を、従来の月産400枚から同1100枚に増強した。これにより、SiCエピウエハーの総生産能力は、4インチ(100mm)換算で従来比約60%増えて月産2500枚となった。さらに、ウエハー表面の欠陥を低減して大電流容量のデバイスに対応可能とした新グレードのSiCエピウエハーを、2014年10月に発売する。
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