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三菱重工業、常温ウエハー接合装置を用いた接合サービス事業を開始

佐藤 雅哉=日経ものづくり
2014/08/11 19:34
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 三菱重工業は2014年8月11日、自社開発した常温ウエハー接合装置を用いて、さまざまな素材のウエハー同士を接合するサービスを開始したと発表した。同社は、これまで同装置の導入を検討する企業向けに同サービスを試験的に行っていたが、導入計画を持たない企業などにも対象を広げる。近年、少量生産を手掛ける工場などからウエハーの接合に関する依頼が増えており、これに対応するのが狙いだ。

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