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14nm~7nm世代の微細プロセスに対応のマスクブランクス欠陥検査装置、レーザーテックが開発

  • 小島 郁太郎=日経エレクトロニクス
  • 2014/04/10 22:37
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レーザーテックは、マスクブランクス欠陥検査装置「MAGICS」シリーズの新製品「M8350/M8351」を開発した。2014年4月より受注を始める。

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