1967年（昭和42年）以降の工場立地件数・面積の推移（資料：経済産業省）
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電気業を除いた工場立地件数・面積の推移（資料：経済産業省）
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製造業の主な業種の立地件数を2012年と2013年で比較（資料：経済産業省）
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経済産業省の調査によれば、2013年（1～12月）の全国の工場立地件数は前年比52.6％増の1873件、工場立地面積は同140.1％増の7534ヘクタールとなった（発表資料）。工場を建設する目的で2013年に1000m2以上の用地を取得した製造業、電気業、ガス業、熱供給業の事業者を対象に経産省が「工場立地動向調査」を実施し、結果を取りまとめたもの。
工場の立地件数と立地面積が大幅に増えた理由は、太陽光発電を目的とした電気業の立地案件の増加が大きな要因という。電気業を除いた工場立地件数は前年比11.6％減の829件、工場立地面積は同2.4％減の1076ヘクタールだった。工場立地件数に占める電気業の割合は55.7％、工場立地面積に占める割合は85.7％に上る。
製造業の工場立地件数は、輸送用機械が前年の79件から57件に、電子部品・デバイス・電子回路が前年の38件から22件になるなど、15業種で前年実績を割り込んだ。主だったところでは鉄鋼業が37件から52件に増えたのを除き、減少傾向となった。
なお、東日本大震災による被災7県（青森県、岩手県、宮城県、福島県、茨城県、栃木県及び千葉県）の工場立地件数は387件（前年は244件。前年比58.6％増）、同7県における工場立地面積は1928ヘクタール（前年796ヘクタール。前年比142.2％増）と大きく伸びた。電気業を除くと、立地件数は前年比10.5％減の171件、立地面積は前年比11.0％増の295ヘクタールである。
立地の選定で事業者（電気業を除く）が重視した上位5項目は、回答の多い順に「本社・他の自社工場への近接性」「地価」「工業団地である」「国・地方自治体の助成」「関連企業への近接性」となっている。
