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HOMESocial Device > 【MEMS 2014】数百℃でも働くセンサー、SiC以外に“先祖帰り”の方法も

【MEMS 2014】数百℃でも働くセンサー、SiC以外に“先祖帰り”の方法も

  • 田中 秀治=東北大学
  • 2014/01/31 07:30
  • 1/1ページ
 発電所や熱機関の精密制御による省エネルギー,地熱などの地下資源の効率的開発,原子力エネルギーの安全管理などのために,数百℃以上の高温で利用できるセンサーの実現が期待されています。MEMS分野でも,SiC-MEMSセンサーをはじめとする高温センサーが研究されてきましたが,実用にはまだ多くの問題があります。大きな問題の一つはセンサー信号の読み出しにあります。

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