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HOMEエレクトロニクス電子デバイス > 銅の100倍の電流を流せる複合材料で微細配線、産総研などが試作

銅の100倍の電流を流せる複合材料で微細配線、産総研などが試作

  • 野澤 哲生=日経エレクトロニクス
  • 2014/01/24 11:34
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 単層CNT融合新材料研究開発機構(TASC)と産業技術総合研究所、および新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)は、単層カーボンナノチューブ(CNT)と銅(Cu)の複合材料を用いて、配線幅が最小0.5μmの微細配線パターンの形成に成功したと発表した。

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