東北大学、トヨタ自動車、豊田中央研究所は、介護現場などで人間を支援するロボット向けに、全身を覆う多数の触覚センサを低コストに実装する技術を共同開発した。触覚センサとデータ読み出し/送信回路をSi基板で形成し、裏面に配線を引き出すための電極をLTCC(low temperatureco-fired ceramics:低温同時焼成セラミックス)で作る。裏面への配線をSi基板にTSV(Si貫通電極)で形成するよりも製造プロセスが簡素で安価になる。
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