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東京エレクトロン、乾燥時の回路パターンの倒壊を抑える枚葉洗浄装置を開発

  • 赤坂 麻実=Tech-On!
  • 2013/07/09 18:18
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 東京エレクトロンは、半導体製造の洗浄・乾燥工程で高アスペクト回路パターンの倒壊を従来の1/10以下に抑えられる枚葉洗浄装置「CELLESTATM -i」を開発した。

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