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HOMEエレクトロニクス電子デバイス > 静電気センサ、産総研がMEMSで小型に

静電気センサ、産総研がMEMSで小型に

  • 三宅 常之=Tech-On!
  • 2013/07/04 21:06
  • 1/1ページ
 産業技術総合研究所は、MEMS(微小電子機械システム)技術による静電気センサをヒロセ電機と共同開発し、「ナノ・マイクロ ビジネス展」(東京ビッグサイト、5日まで開催)に展示した。
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