• BPnet
  • ビジネス
  • IT
  • テクノロジー
  • 医療
  • 建設・不動産
  • TRENDY
  • WOMAN
  • ショッピング
  • 転職
  • ナショジオ
  • 日経電子版

HOMEエレクトロニクス電子デバイス > 静電気センサ、産総研がMEMSで小型に

静電気センサ、産総研がMEMSで小型に

  • 三宅 常之=Tech-On!
  • 2013/07/04 21:06
  • 1/1ページ
 産業技術総合研究所は、MEMS(微小電子機械システム)技術による静電気センサをヒロセ電機と共同開発し、「ナノ・マイクロ ビジネス展」(東京ビッグサイト、5日まで開催)に展示した。

おすすめ