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ニコン、5台目となる450mmウエハー対応のArF液浸露光装置をG450Cから受注

  • 大下 淳一=日経BP半導体リサーチ
  • 2013/07/04 12:34
  • 1/1ページ
 ニコンは2013年7月4日、米Research Foundation for the State University of New York(SUNY研究財団)との間で、プロセス開発向け450mmウエハー対応ArF液浸露光装置の販売とウエハー・パターニングの受託について契約を締結し、受注したと発表した(リリース)。

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