• BPnet
  • ビジネス
  • IT
  • テクノロジー
  • 医療
  • 建設・不動産
  • TRENDY
  • WOMAN
  • ショッピング
  • 転職
  • ナショジオ
  • 日経電子版

HOMEエレクトロニクス電子デバイス > 450mmウエハー対応の半導体露光装置向けArF光源、ギガフォトンが初号機を出荷

450mmウエハー対応の半導体露光装置向けArF光源、ギガフォトンが初号機を出荷

  • 大下 淳一=日経BP半導体リサーチ
  • 2013/07/01 19:45
  • 1/1ページ
 コマツの100%子会社で、半導体露光装置向けレーザー光源を手掛けるギガフォトンは2013年7月1日、450mmウエハーに対応する露光装置向けArFエキシマ・レーザー光源「GT64A」の初号機を、露光装置メーカー向けに出荷したと発表した。リソグラフィを複数回繰り返して解像度を高めるマルチ・パターニングに対応する液浸露光装置向けの光源である。出力は120Wと大きく、マルチ・パターニングでも高いスループットを実現できるとする。今回の出荷開始は「450mmウエハーの量産化の加速と生産効率向上に貢献する」(ギガフォトン)としている。

トップページへ

おすすめ ↓スクロールすると、関連記事が読めます↓