半導体製造 プロセス技術や工場の動向を知るための
 

富士通セミコン、南海トラフ地震などに備え、液化天然ガスの自前供給基地を三重工場に設置

木村 雅秀=日経BP半導体リサーチ
2013/04/24 11:53
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 富士通セミコンダクターは、南海トラフ地震に代表される西日本災害時の都市ガス停止に備え、三重工場において液化天然ガス(LNG)を自前で供給できるサテライト基地を設置し、2013年4月24日から運用を開始する(ニュース・リリース)。災害等によってガス燃料の供給が停止した際には、サテライト基地とローリー車によるLNG補充によって対応できるという。  2011年3月11日の東日本大震災以来、半導体工場においては被災時に一刻も早く操業を復旧する体制の構築が望まれている。富士通セミコンでは2008年から、インフラ(電力や水)の復旧後7日以内に前工程製造の操業を復旧するBCM(business continuity management、事業継続マネジメント)を構築してきた。これにより、東日本大震災ではインフラ(電力や水)の供給停止があったものの、早期に復旧し、製品供給への影響を最小化できたという。  東日本大震災では、東北地区の工場における都市ガスの供給がパイプラインの損傷や津波による供給基地の損傷によって、電力に比べて長期間停止した経緯がある。三重工場のクリーン・ルームでは空調用ボイラーや一部製造設備などの燃料として都市ガスを使用しており、都市ガスの供給が停止した場合、クリーン・ルームの環境が維持できなくなり、製造過程にある製品が損傷する可能性がある。

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