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浜松ホトニクス、生産現場で樹脂の表面改質などを実験できるポータブル紫外線光源を発売

高田 憲一=日経ものづくり
2013/04/03 18:10
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 浜松ホトニクスは、生産現場でエキシマランプによる紫外線処理の効果を確認できる、生産技術開発向け小型エキシマランプ光源「EX-mini『L12530』」を2013年5月1日に発売する。樹脂の表面改質工程や半導体の洗浄工程において、エキシマランプによる紫外線処理の導入を検討する際、持ち運びが容易な同光源を使うことで量産装置の導入に先立って生産現場で実験し、効果を確認できる。

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