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【SPIE】Intelが20nm世代以降のリソグラフィ技術を語る、「コンプリメンタリー・リソを駆使」

  • 木村 雅秀=日経エレクトロニクス
  • 2013/02/25 17:02
  • 1/1ページ
 米Intel社は、ニコンが2013年2月24日(米国時間)に開催したプライベート・セミナー「LithoVision 2013」において、20nm世代以降のリソグラフィ技術の方向性について講演した(関連記事)。

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