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興研、作業休止時の節電が可能な開放型クリーンルーム設備を開発

高野 敦=日経ものづくり
2013/02/07 19:13
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 興研は、作業休止時などに少ない消費電力量でクリーン度を保つ「スリープモード」を備える開放型クリーンルーム設備「フロアーコーチExp」と「同Ezp」を開発し、販売を始めた。スリープモード時の消費電力量は通常運転モードの30%程度まで少なくできるが、通常運転モードと同じ「ISOクラス1」のクリーン度を維持できる。スリープモード時は開放部をスライド式のスクリーンでふさいぎ、ほぼ密閉空間とする構造によって実現した。

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