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竹中工務店、半導体工場など向けに剛性可変の除振システムを開発

  • 赤坂 麻実=Tech-On!
  • 2012/12/13 11:45
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 竹中工務店は、半導体やディスプレイなどの露光装置の設置床に使う「剛性可変型除振システム」を開発した。

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