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HOMEエレクトロニクス電子デバイス > 【セミコン2012】EV Group、モジュール式のレジスト処理プラットフォームを開発

【セミコン2012】EV Group、モジュール式のレジスト処理プラットフォームを開発

  • 赤坂 麻実=Tech-On!
  • 2012/12/06 10:43
  • 1/1ページ
 半導体製造装置メーカーのオーストリアEV Groupは、レジストのスプレー塗布、現像、スピン塗布、リフトオフを行うプラットフォーム「EVG150」を開発した。
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