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【セミコン2012】東京エレクトロン、300mmウエハー対応メタルCVD装置の受注を開始

  • 赤坂 麻実=Tech-On!
  • 2012/12/04 16:02
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 東京エレクトロンは、枚葉式の金属膜CVD装置「Triase+ EX-II TiN」の受注を2013年1月に開始する。

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