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HOMEエレクトロニクス電子デバイス > 「EUV光源やめません」、ASMLのCymer買収でウシオがコメント

「EUV光源やめません」、ASMLのCymer買収でウシオがコメント

  • 赤坂 麻実=Tech-On!
  • 2012/10/18 16:37
  • 1/1ページ
 ウシオ電機は2012年10月18日、半導体製造用のEUV露光装置に使う光源について「EUV事業に関するお知らせ」と題する資料を発表し、事業継続をアピールした。
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