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HOMEエレクトロニクス電子デバイス > ASML、EUV露光装置の開発加速に向けて光源メーカーのCymerを買収

ASML、EUV露光装置の開発加速に向けて光源メーカーのCymerを買収

  • 赤坂 麻実=Tech-On!
  • 2012/10/17 15:12
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 半導体製造装置メーカーのオランダASML社は、半導体露光装置用の光源を製造する米Cymer社を買収する。

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