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島津製作所、ファイバーレーザによる微細加工に適した光源を開発

  • 富岡 恒憲=Tech-On!編集
  • 2012/09/25 14:25
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 島津製作所は、ファイバーレーザによる微細加工に適した光源(外部共振器型短パルス半導体レーザ)「BEAM IMPACTシリーズ」を開発し、2012年9月25日に発売する。加工対象に与える熱的な影響が小さい短パルス(パルス幅1.5ns)の種光を発生できる上、加工対象への吸収率が高く広範な材料への適用が可能な短波長の種光を出せる。微小スポットへの集光も可能としていることから、微細加工に適しているという。

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