半導体製造 プロセス技術や工場の動向を知るための
 

昭和電工、高効率・大型乾式の温暖化ガス分解装置を開発

赤坂 麻実=Tech-On!
2012/09/05 14:45
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 昭和電工は、温室効果ガスのPFC(パーフルオロカーボン)を化学反応方式と触媒方式のハイブリッド・システムで分解する装置「HB-3000」を開発した。

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