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HOMEエレクトロニクス電子デバイス > 【VLSI】TSMCが2.5次元LSI技術について講演、「TSVは微細化してCu体積を減らすべき」

【VLSI】TSMCが2.5次元LSI技術について講演、「TSVは微細化してCu体積を減らすべき」

  • 木村 雅秀=日経エレクトロニクス
  • 2012/06/15 02:22
  • 1/1ページ
 「2012 Symposium on VLSI Technology」のセッションT12「3D-System Integration」では、台湾TSMCがSiインターポーザを用いた独自の2.5次元LSI技術「CoWoS(Chip on Wafer on Substrate)」について講演した(関連記事)。講演タイトルは、「An ultra-thin interposer utilizing 3D TSV technology」である[講演番号:T-12.4]。
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