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HOMEエレクトロニクス電子デバイス > MEMS「試作コインランドリ」の利用が5倍に、放射線センサにも

MEMS「試作コインランドリ」の利用が5倍に、放射線センサにも

  • 三宅 常之=Tech-On!
  • 2012/05/22 18:54
  • 1/1ページ
 MEMS(微小電子機械システム)の製造装置を時間貸しで提供する施設「試作コインランドリ」の利用が拡大している。この施設は、東北大学が2010年4月に西澤潤一記念研究センター内に開設したもの。前工程から後工程まで60種類以上のMEMS製造装置を備え、それぞれを「格安の料金」(同大学)で広く利用可能にしている。

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