「MemsONE」Ver.5.0が販売開始
一般財団法人マイクロマシンセンター、みずほ情報総研、数理システムで構成する「MemsONEコンソーシアム」は、2012年2月6日、MEMS用設計・解析ソフトウエア「MemsONE」Ver.5.0の販売を開始した。
「MemsONE」は、MEMSの設計・開発における構造、電磁場、熱伝導などの数値解析機能を備えるシミュレーション・システム。解析対象の動作機構を総合的に検証・評価する「機構解析シミュレータ」、エッチングやマルチプロセスによるMEMS製造プロセスを総合的に検証・評価する「プロセス解析ツール」などから成る。「プロセス逆問題解析ソフト」、「MEMS回路シミュレータ」、「ナノインプリント解析シミュレータ」、「知識データベース」も備える。電子・機械系以外の分野の技術者やMEMS製造プロセスに精通していない技術者もMEMSを容易に設計できるよう工夫している。
今回のVer.5.0では、回路シミュレータの機能を改善した。具体的には、機構解析の結果から動作特性マクロモデルを抽出、機構解析と回路解析を有機的に連携させることを可能とした。また、各解析機能のチュートリアルの見直しや材料データベースのユーザー登録・更新機能などを改善した。ユーザーの知見や材料物性などのデータを活かすことで、設計･開発も効率化できるとする。さらに、プロセス解析にかかわるデータの追加・拡充、回路解析のMEMS素子モデルの追加、知識データベースの補充などの改良を施した。
今後、GUIの英語化に着手し、海外での普及を図る。「MemsONE」は、2008年2月にVer1.0をリリースして以来、これまでに約85機関で採用されている。出荷ライセンス数は約250。今回のVer.5.0の発売で、Ver.1.0〜Ver.4.0と合わせ、今後1年間で約120機関に、400ライセンスの提供を目指す。
