NXP，水晶発振器に比べて大幅な小型化を可能にするMEMS発振器を開発，CES2012で披露

水晶発振器に比べて大幅な小型化を可能にするMEMS発振器

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　オランダNXP Semiconductors N.V.は，2012年1月10日〜13日に開催される「2012 International CES」で，水晶発振器に比べて大幅な小型化を可能にするMEMS発振器を披露する（ニュースリリース）。同社によると，精度に関しては，既存の水晶発振器と同程度の性能を実現でき，外形寸法については，現時点で最も小さい水晶発振器の1/20に抑えられると主張する。しかも，水晶発振器とは異なり，セラミック・パッケージや，ハーメチック・シールを施した金属パッケージを使う必要がない。低コストのプラスチック・パッケージが使えるとする。Gビット・イーサネットやUSB，PCI Express，シリアルATAなどを搭載する通信機器のほか，民生用電子機器のマイコンやメモリー，制御ICのクロック信号源に向ける。

　開発したMEMS発振器は，ピエゾ抵抗素子を利用する同社独自構造を採用した。このため，強い電子機械結合が得られ，高い共振周波数が得られるという。しかも，ジッターは非常に小さいとする。発振周波数の温度ドリフトは，既存のSi発振器（共振器）の1/10と小さく，既存の水晶発振器とほぼ同等である。温度補償回路は使用していないという。価格や量産開始時期は明らかにしていない。

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