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【セミコン・ジャパン】880mm×1900mmと巨大な静電チャック、有機ELや太陽電池など向け

  • 長廣 恭明=Tech-On!
  • 2011/12/09 12:29
  • 1/1ページ
クリエイティブテクノロジーは、幅880mm×長さ1900mmと巨大な静電チャックを「Semicon Japan 2011」(2011年12月7~9日、幕張メッセ)に展示した。有機ELディスプレイや太陽電池の製造プロセスへの応用を進めているほか、新しいアプリケーションを開拓したいと言う。

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