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HOMEエレクトロニクス電子デバイス > 【セミコン・ジャパン】展示会場でクラス1のクリーン度を実現、興研の「フロアーコーチEz」

【セミコン・ジャパン】展示会場でクラス1のクリーン度を実現、興研の「フロアーコーチEz」

  • 長廣 恭明=Tech-On!
  • 2011/12/08 18:14
  • 1/1ページ
興研は、周囲に簡便な防風壁などを設けるだけでクリーン・ルームを実現できる「フロアーコーチEz」でクラス1を達成、「Semicon Japan 2011」(2011年12月7~9日、幕張メッセ)の会場で、クラス1のクリーン・ルームを実演した。同社は、これまでのSemiconでもフロアーコーチEzを展示してきたが、クラス1を達成できたことを機に、今回は特に大掛かりなクリーン・ルームを会場に設置してアピールすることにした。

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