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【セミコン・ジャパン】ローツェ、4ポート対応の300mmウエハー搬送ロボットを初展示

  • 長廣 恭明=Tech-On!
  • 2011/12/08 18:08
  • 1/1ページ
 ローツェは、4ポート対応の300mmウエハー搬送ロボットを「Semicon Japan 2011」(2011年12月7~9日、幕張メッセ)に初めて展示した。4ポート対応の製造装置の開発を容易にし、コスト削減や信頼性向上に寄与できる。
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