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【セミコン・ジャパン】Cymerが記者会見、「100W@IFは2012年半ば」

長廣 恭明=Tech-On!
2011/12/07 17:55
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半導体露光装置用の大手光源メーカーの米Cymer社は、「Semicon Japan 2011」(2011年12月7~9日、幕張メッセ)に合わせて2011年12月7日に記者会見を開催、露光光源や有機EL(electroluminescence)ディスプレイ向けの低温多結晶Si-TFTのアニール用光源などについて説明した。その中で、EUV(extreme ultra violet)光源については以下の通り。

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