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HOMEエレクトロニクス電子デバイス > 【セミコン・プレビュー】非クリティカル層向け、高生産性ArFドライ露光装置をニコンが発売

【セミコン・プレビュー】非クリティカル層向け、高生産性ArFドライ露光装置をニコンが発売

  • 長廣 恭明=Tech-On!
  • 2011/12/05 15:44
  • 1/1ページ
ニコンは、非クリティカル層向けにスループットと重ね合わせ精度を向上させたArFドライ・スキャン露光装置「NSR-S320F」の販売を、2011年第4四半期(2011年10~12月)に開始したと発表した。スループットは、300mmウエハーの場合で約200枚/時、重ね合わせ精度は3nm以下を実現している。「Semicon Japan 2011」(2011年12月7~9日、幕張メッセ)でパネル展示する予定。
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