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【セミコン・プレビュー】アドバンテスト、Verigyとの統合成果や前工程向け製品を展示

長廣 恭明=Tech-On!
2011/12/05 12:47
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アドバンテストは、シンガポールVerigy Ltd.との統合成果などを、「Semicon Japan 2011」(2011年12月7~9日、幕張メッセ)で展示する。同社によれば、今回のSemicon Japanでは、「From fusion comes power.」をテーマに、Verigyとの統合によって一層充実させた数々のテスト・ソリューションを紹介すると言う(Tech-On!関連記事1)。また、今回は同社として初めて前工程のブースを設置、走査型電子顕微鏡(SEM)や電子ビーム(EB)露光装置などをパネル展示する。主な展示製品は以下の通り。

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