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【セミコン・プレビュー】大日本スクリーン、処理速度800枚/時の枚葉式ウエハー洗浄装置

  • 赤坂 麻実=Tech-On!
  • 2011/12/01 15:55
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 大日本スクリーン製造は、処理速度800枚/時の枚葉式ウエハー洗浄装置「SS-3200」を開発した。

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