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【セミコン・プレビュー】リオン、粒径0.04μm対応の液中パーティクル・カウンタ

  • 長廣 恭明=Tech-On!
  • 2011/11/04 14:54
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リオンは、粒径0.04μmまで測定可能な液中パーティクル・カウンタ「KL-30AX」と「KS-18FX」を、「セミコン・ジャパン 2011」(2011年12月7~9日、幕張メッセ)において新製品として展示する。

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