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半導体製造 プロセス技術や工場の動向を知るための
 

正念場のEUV光源開発、XTREMEが30W@IFを達成

長廣 恭明=Tech-On!
2011/10/28 14:52
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ウシオ電機の100%子会社であるドイツXTREME Technologies GmbHは、同社の開発した量産向けEUV(extreme ultraviolet)光源が30W@IF(W@IFは中間焦点位置(intermediate focus:IF)における出力の意味)に達したことを発表した。この値は、量産対応条件であるデューティ・サイクル(デューティー比)100%の連続出力における値と言う。2011年10月に米国で開かれたリソグラフィー技術に関する国際会議「2011 International Symposia on Extreme Ultraviolet Lithography and Lithography Extensions」で発表した。

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