• BPnet
  • ビジネス
  • PC
  • IT
  • テクノロジー
  • 医療
  • 建設・不動産
  • TRENDY
  • WOMAN
  • ショッピング
  • 転職
  • ナショジオ
  • 日経電子版

HOMEエレクトロニクス電子デバイス > 正念場のEUV光源開発、XTREMEが30W@IFを達成

正念場のEUV光源開発、XTREMEが30W@IFを達成

  • 長廣 恭明=Tech-On!
  • 2011/10/28 14:52
  • 1/1ページ
ウシオ電機の100%子会社であるドイツXTREME Technologies GmbHは、同社の開発した量産向けEUV(extreme ultraviolet)光源が30W@IF(W@IFは中間焦点位置(intermediate focus:IF)における出力の意味)に達したことを発表した。この値は、量産対応条件であるデューティ・サイクル(デューティー比)100%の連続出力における値と言う。2011年10月に米国で開かれたリソグラフィー技術に関する国際会議「2011 International Symposia on Extreme Ultraviolet Lithography and Lithography Extensions」で発表した。
【技術者塾】(5/26開催)
シミュレーション要らずの熱設計・熱対策

~熱を電気回路に見立てて解析、演習で応用力アップ~


本講演を受講すると、シミュレーションに頼らない実践的な熱対策・熱設計ができるようになります。演習を通して実際に熱を解析し、熱設計への理解を深められます。現場で応用できる熱解析ツールを自分で作成できるようになります。 詳細は、こちら
日程 : 2016年5月26日
会場 : 化学会館 7F(東京・御茶ノ水)
主催 : 日経エレクトロニクス

おすすめ