大日本スクリーン製造(DNS)が,32nm以降向けの洗浄技術「NanosprayÅ(ナノスプレーアドバンス)」を開発した。今後は実用に向けた検証実験を進め,早ければ2010年内にもこの技術を搭載した洗浄装置を発売したいという。
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