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HOMEエレクトロニクス電子デバイス > フレキシブルで高性能なタッチ・パネルを可能にするロール・ツー・ロール式スパッタリング装置

フレキシブルで高性能なタッチ・パネルを可能にするロール・ツー・ロール式スパッタリング装置

  • 田中 直樹=Tech-On!
  • 2010/06/28 20:38
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 タッチ・パネル基板のフィルム化やタッチ・パネルのさらなる大型化,低コスト化を見越した動きが,製造装置メーカーにも広がっている。例えば,半導体製造装置の最大手で,液晶パネル向けCVD装置でもトップ・シェアを持つ米Applied Materials, Inc.(AMAT)は,タッチ・パネル用のITO(indium tin oxide)成膜装置として,フィルム基板対応のロール・ツー・ロール式スパッタリング装置「SmartWeb」を販売してきた。

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