アドバンテストは,THz波を利用した3次元非破壊検査装置「TAS7000」を製品化したことを発表した。同社は名古屋大学教授の川瀬晃道氏と共同でこの装置を開発し,これまでに「第27回エレクトロテスト・ジャパン(2010年1月20~22日,第39回 インターネプコン・ジャパンと併催)などで展示してきた(Tech-On!関連記事)。今回はこれを市販装置に仕上げて製品化した。さらに具体的な用途として,ディーゼル・エンジンなどの排気ガスを浄化するセラミック・フィルタに粒子状物質(PM)が堆積したところを3次元非破壊観察できた結果を示している。

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