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【応物学会】透明で曲げられる不揮発性メモリ素子,鳥取大らが金属酸化物で作製

大下 淳一=日経エレクトロニクス
2010/03/17 20:18
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 鳥取大学と尾池工業の共同グループは,透明で曲げられる抵抗変化型不揮発性メモリ(ReRAM)素子をプラスチック(PEN)基板に作製し,基本動作を確認した。このReRAM素子の寸法は100μm径であり,抵抗変化層と上下電極層のそれぞれに室温で成膜したGaZnO膜を使った。この素子は,可視光波長の光に対して66%の透過率を持つという。同グループは今回の成果を,「第57回応用物理学関連連合講演会(東海大学 湘南キャンパス,2010年3月17~20日)」で発表した(講演番号:17a-TQ-8)。

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