米VLSI Research Inc.は，2009年の半導体製造装置の市場規模と売上高ランキングを発表した。2009年の市場規模は，対前年比でおよそ－40％と2年連続で大幅減少となった。この結果，直近のピークである2008年に比べて2009年の市場規模は半減している。 売上高ランキングについては,まず上位5社で2008年に3位に陥落した東京エレクトロン（TEL）が2位を回復，ニコンも2008年の6位から4位へと順位を上げた（Tech-On!関連記事）。日本勢は近年順位が低落傾向にあったが，2009年は売上高の下げ幅が小さかったことから，相対的に順位を上げている。 次に6位以下では，2008年に7位だったキヤノンがランク外になった。一方，独Aixtron AGが2007年27位から2008年は18位，2009年は13位と，一気に15位以内に入ってきた。AixtronはLED向けのCVD装置などを扱っており，昨今のLED市場の活況によって2年連続で売上高を伸ばした。 全体としては2009年の15位までの中で，順位を上げたのが8社，逆に下がったのが4社，変動がなかったのが3社だった（発表資料）。
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